萤石和石英玻璃的光学性能核心差异集中在透光波段、色散特性、热光稳定性三大维度，二者在光学系统中是互补而非替代关系，适配完全不同的应用场景：
1. 透光波段差异
萤石：透光范围覆盖130nm真空深紫外至9μm中红外，在157nm深紫外波段仍能保持99%以上的高透过率，是唯一能适配157nm光刻场景的主流光学材料，同时完整覆盖FTIR光谱仪所需的5~9μm中红外指纹区。
石英玻璃：常规紫外级熔融石英透光范围仅为185nm~3.5μm，185nm以下深紫外波段会出现强烈的本征吸收，完全无法透过157nm激光，2.5μm以上红外波段受羟基和晶格振动影响，透过率快速衰减。
2. 色散与折射率特性差异
萤石：拥有普通光学材料不具备的反常局部色散特性，阿贝数高达95，是目前商用光学材料中色散最低的品类，587.6nm波长下折射率仅为1.4338，远低于石英玻璃。它能和常规光学玻璃组合实现极致的复消色差效果，彻底消除长焦镜头的二级光谱色差。
石英玻璃：阿贝数约为67.8，属于常规色散水平，587.6nm波长下折射率为1.4570，无法实现萤石的反常色散消色差效果，仅能完成基础的色差校正。
3. 热光稳定性差异
萤石：折射率温度系数dn/dT为-10.6ppm/K，呈现负温度特性，热膨胀系数高达18.85ppm/K，是石英玻璃的34倍，温度波动下极易出现热失焦，热稳定性较差。
石英玻璃：折射率温度系数dn/dT为+11ppm/K，热膨胀系数仅0.55ppm/K，几乎接近零膨胀，热稳定性极强，能在剧烈温度冲击下保持光学性能稳定，是248nm、193nm常规光刻场景的主力材料。
4. 其他关键光学相关特性差异
萤石为等轴晶系单晶，无本征双折射，高纯度合成萤石几乎无荧光效应，适配高精度光谱测量场景；石英玻璃为非晶态材料，无晶体解理特性，机械硬度远高于萤石，抗划伤、抗水解能力更强，日常使用维护门槛更低。
萤石的深紫外激光损伤阈值更高，在高能量157nm激光照射下不易出现色心黑化，而石英玻璃在193nm以上高能量激光长期辐照下，容易生成氧缺陷中心，导致透过率不可逆下降。
